WD液ガス用ダイヤフラムバルブ ＜WD4MS-VC-N＞

●半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を流体として使用できるダイヤフラムバルブです。●バルブの基本特性、パーティクル性能やパージ特性を維持しながら、シート(ASSY)部の交換をユーザーサイドで可能としました。●定期的なクリーニングを必要とする材料容器の封止バルブに対し、メンテナンス性能の向上とランニングコストダウンに有効です。

【仕様説明】

●操作方法:手動●ハンドル色:青(標準)

【材質説明】

●電解研磨＋SUS316L